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            spectra在線膜厚測量裝置技術(shù)分析
            
        
            發(fā)布時間：2023-05-30　點擊量：501 
            
        
             
           
            spectra在線膜厚測量裝置技術(shù)分析
            使用小型卡爾蔡司光譜儀，根據(jù)形狀和尺寸對每種應用進行樣品包裝。
            從薄膜和圓盤形狀到玻璃板和圓柱狀物體，如果同時使用顯微光學系統(tǒng)，則可以將光線縮小到細點，并輕松測量樣品的薄膜厚度。
            image.png
            可測量樣本示例
            • 硅、氧化硅、氮化硅
            • 砷化鎵
            • 二氧化鈦
            • 光刻 膠
            • 染料膜、油膜和彩色濾膜
            • 影片
            • 涂料和粘合劑
            • 紫外光固化樹脂
            • 金屬氧化膜、介電膜
            • 聚合體
            • 空氣層
            • 光盤、中藥、光盤
            以1200mm薄膜厚度測量包為例，我們將介紹Enplanner。
            該系統(tǒng)可以測量長薄膜的薄膜厚度線輪廓。 安裝在執(zhí)行器上的光譜反射測量單元的最大行程為 1200 mm，可移動并測量薄膜厚度。 圖表顯示在顯示屏上，可以保存和打印測量數(shù)據(jù)。
            image.png
            產(chǎn)品規(guī)格
            測量厚度范圍0.5-100um（光學厚度）實際厚度是將上述除以折射率得到的值
            保障區(qū)域傳感器、急停開關、聯(lián)鎖
            測量時間15分鐘，1200毫米
            權(quán)力AC100V?50，60Hz?5A以下
            測量位置設置在 0 到 1200 mm 之間，間距為 1 mm
            寬度分辨率0.1-200mm可任意設定
            寬度位置精度±0.02毫米
            設置波長范圍400-1000納米
            設置發(fā)光部分5倍物鏡
            測量光斑直徑φ1毫米

            
        
            
      
            
      
    
            
  
            

            

            









 
  


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