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            用于真空的準(zhǔn)分子紫外線系統(tǒng)介紹

            發(fā)布時(shí)間:2023-04-10 點(diǎn)擊量:687

            用于真空的準(zhǔn)分子紫外線系統(tǒng)介紹

            基于準(zhǔn)分子光源特點(diǎn),我們來(lái)看看準(zhǔn)分子光源是如何產(chǎn)生作用的。以準(zhǔn)分子波長(zhǎng)172 nm為例,紫外線照射固體表面后,表面的污染物有機(jī)分子結(jié)合被強(qiáng)的光能切斷、氧化,而后分解成氧氣和氫氣等易揮發(fā)性物質(zhì),最終揮發(fā)消失,被清洗后的表面清潔度高。
            1、打破分子鍵
            打破有機(jī)物質(zhì)的分子鍵的能量需要超過(guò)物質(zhì)結(jié)合能的光能,同時(shí)物質(zhì)的能量吸收(激發(fā))越大,就越容易引發(fā)反應(yīng)(分解)并且所需的處理時(shí)間越短。因此使用低壓紫外線燈無(wú)法打破的結(jié)合能可以使用準(zhǔn)分子燈產(chǎn)生的 172nm 波長(zhǎng)進(jìn)行分解。

            2、大量產(chǎn)生激發(fā)態(tài)氧原子

            準(zhǔn)分子紫外線燈與傳統(tǒng)汞紫外線燈比較,光強(qiáng)超大,靶向精準(zhǔn),無(wú)汞制造,綠色環(huán)保,可回收,無(wú)二次污染。與低壓紫外燈的185nm波長(zhǎng)相比,準(zhǔn)分子燈172nm波長(zhǎng)的分子氧吸收系數(shù)大20倍左右。這不僅可以產(chǎn)生高密度的活性氧,而且通過(guò)直接作用于氧氣,可以產(chǎn)生具有強(qiáng)大氧化能力的強(qiáng)激發(fā)氧。

            Eximer真空光源和準(zhǔn)分子真空靜電消除器

            易于安裝到帶 ICF114 法蘭的真空室視口。
            通過(guò)使用風(fēng)冷準(zhǔn)分子燈的簡(jiǎn)單系統(tǒng)結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了低成本和高性能。 可以瞬時(shí)打開(kāi)和關(guān)閉。

            準(zhǔn)分子真空光源法蘭連接

            特征

            • 真空室等靜電問(wèn)題的對(duì)策

            • 卷對(duì)卷薄膜抗靜電

            • 晶圓等靜電卡盤(pán)的吸附和運(yùn)輸措施

            • 防止因電氣化而吸附異物的對(duì)策

            • 電子顯微鏡的靜電對(duì)策

            • 通過(guò)帶電實(shí)現(xiàn)均勻的薄膜厚度,防止針孔

            規(guī)范


            波長(zhǎng)172 納米
            真空法蘭端口ICF114 (兼容JIS法蘭)
            冷卻方式風(fēng)冷
            功能燈亮起、熄滅
            光源尺寸寬 300 x 高 157 x 深 180 mm
            電源尺寸寬 250 x 高 133 x 深 200 mm
            權(quán)力AC100V 50/60Hz 2A 帶接地端子
            N2
            電纜長(zhǎng)度(燈~(yú)電源)0,5 米
            環(huán)境規(guī)格溫度15-30°C,濕度20-80%,無(wú)冷凝、腐蝕、振動(dòng)的環(huán)境條件。




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