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3D表面輪廓測量原理
白光干涉儀是一種能夠以納米級精度對粗糙度和臺階等三維表面特征進(jìn)行非接觸式測量的技術(shù)。測量粗糙度和臺階的技術(shù)包括接觸式輪廓儀、原子力顯微鏡 (AFM) 和激光顯微鏡。
| 白光干涉 | 激光 顯微鏡 | 接觸式 步距規(guī) | 原子力顯微鏡 | |
|---|---|---|---|---|
| 準(zhǔn)確性 | ◎ ?納米級測量 | △ | ◎ | ◎ |
| 解析度 | ◎ 納米到毫米 | 〇 微米 | 〇 微米 | ◎ 納米 |
| 測量區(qū)域 | ◎ 一次測量 2 平方毫米 | △ 激光 掃描 | △ 線 | × 小面積 掃描 |
| 接觸/非接觸 | 非接觸式 | 非接觸式 | 接觸 | 接觸 |
| 測量時間 | ◎ 以秒為單位的面積測量 | △ 通過掃描 平面測量 | △ 線 輪廓 | × 通過掃描 平面測量 |
白光干涉儀可以說是一種能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高速測量和大范圍測量的系統(tǒng)。
光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
干涉條紋
白光干涉法是用相機(jī)測量光的干涉圖案來測量三維形狀。如果您使用帶有內(nèi)置參考鏡（稱為干涉鏡）的物鏡，并用白光照射參考鏡和樣品，當(dāng)兩個反射光的光路相同時，兩個光發(fā)生強(qiáng)烈干涉并變亮. 反之，當(dāng)兩束反射光的光路不同時，兩束光相互抵消而變暗。
在測量不同高度的樣品時，根據(jù)光路的不同，在光線強(qiáng)弱的地方會出現(xiàn)干涉條紋。
通過使用壓電致動器或步進(jìn)電機(jī)在樣品上上下移動物鏡來觀察干涉信號。干擾信號峰值分別出現(xiàn)在 A 側(cè)和 B 側(cè)，這些峰值位置的偏移就是高度差。
