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日本ata Gimble 多涂機(jī) AT-903涂層示例分析
涂層示例
◆ 萬向節(jié)效果
在萬向機(jī)操作下，在凹凸不平的樣品表面涂上一層均勻的薄膜
（見下圖，濾紙表面SEM照片）。
放大倍率 x 50,000 倍
云臺(tái)運(yùn)動(dòng)視頻
◆ 與其他公司的顆粒性能比較（樣品：載玻片放大倍數(shù)：×100,000）
（其他公司）
(ATA)
◆ 涂膜顆粒度差異示例（AFM 圖像）
膜厚 10nm 玻璃基板鍍鉻膜
膜厚 9nm 玻璃基板上的鉑膜
可以看出，Cr非晶膜和鉑再結(jié)晶膜形成良好。
頭型（可選）
1頭型
2頭型
清潔（可選）
清潔機(jī)制
特征
全向擺動(dòng)（萬向運(yùn)動(dòng)）載物臺(tái)使涂層具有良好的環(huán)繞性。
*干燥的排氣可防止樣品污染（渦輪分子泵+隔膜泵）
Cr、ITO、Cu、Ni、Pt、Au、Mo、W 等。目標(biāo)類型可以是used
特殊的快門功能可抑制對(duì)樣品的熱損傷。
可以選擇 1 或 2 頭的數(shù)量。
<選項(xiàng)>
等離子清洗（主機(jī)選件）可去除有機(jī)異物并進(jìn)行表面親水化處理，
碳涂層附件（選件）可用于形成碳膜（目前正在建設(shè)中）。
